一种磁控溅射靶的屏蔽板调节装置
基本信息
| 申请号 | CN201721022038.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207227540U | 公开（公告）日 | 2018-04-13 |
| 申请公布号 | CN207227540U | 申请公布日 | 2018-04-13 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 尹忠乐;李术杰;应世强 | 申请（专利权）人 | 广东南海农村商业银行股份有限公司桂城支行 |
| 代理机构 | 广州科粤专利商标代理有限公司 | 代理人 | 佛山市南海区晶鼎泰机械设备有限公司 |
| 地址 | 528200 广东省佛山市南海区狮山镇狮中村西工业区梁锦平的厂房自编1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种磁控溅射靶的屏蔽板调节装置，包括屏蔽板和底座；所述屏蔽板的表面的中间部位设置有用于安装靶材的避空孔；在所述避空孔的外侧还设置有至少两个用于安装调节机构的安装孔；所述底座位于所述屏蔽板的敞口端的下方；所述调节机构是用于连接所述底座和屏蔽板的；所述调节机构包括支撑杆、压紧块、支撑块和定位压紧螺钉；所述支撑杆的一端与所述底座抵触，另一端伸出屏蔽板的表面；所述压紧块设置有用于安装定位压紧螺钉的预留孔；所述支撑块设置在所述屏蔽板的表面的内侧；所述压紧块从所述屏蔽板的表面外侧伸入屏蔽板的表面内侧、并与所述支撑块配合安装。本实用新型具有结构简单、连接点少、绝缘点少和安装便捷等优点。 |
