双栅结构的石墨烯场效应晶体管生物传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911273053.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112986355A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112986355A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | G01N27/327 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 林本慧 | 申请（专利权）人 | 福建海峡石墨烯产业技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362000 福建省泉州市晋江市罗山街道世纪大道南段3001号创意创业创新园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了双栅结构的石墨烯场效应晶体管生物传感器，生物传感器包括石墨烯场效应晶体管和生物传感区，所述生物传感区通过导线与石墨烯场效应晶体管的顶栅极连接，生物传感区上修饰生物识别分子层；制备方法：以金属箔为基底，生长石墨烯薄膜，将石墨烯薄膜转移至衬底上，作为石墨烯沟道层；在石墨烯沟道层的两端形成源电极和漏电极；在石墨烯沟道层上沉积顶栅极；通过导线连接生物感应区与顶栅极；在生物传感区域上修饰生物分子识别层。本发明将石墨烯场效应晶体管与生物传感区域隔离，二者通过导线连接，测量的稳定性和灵敏度高，且石墨烯场效应晶体管可以重复使用，将大大降低检测成本。 |
