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一种石墨烯场效应晶体管生物传感器及其制备方法

基本信息

申请号	CN201911278003.0	申请日	-
公开（公告）号	CN112986356A	公开（公告）日	2021-06-18
申请公布号	CN112986356A	申请公布日	2021-06-18
分类号	G01N27/327	分类	测量；测试;
发明人	林本慧	申请（专利权）人	福建海峡石墨烯产业技术研究院有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	362000 福建省泉州市晋江市罗山街道世纪大道南段3001号创意创业创新园
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种石墨烯场效应晶体管生物传感器及其制备方法，生物传感器包括衬底，衬底上设有High‑k介质层，High‑k介质层上设有源电极、漏电极和石墨烯沟道层，源电极、漏电极分别设置在石墨烯沟道层的两端，石墨烯沟道层上为普鲁士蓝，普鲁士蓝上为生物识别分子层；制备方法：以金属箔为基底，生长石墨烯薄膜，将石墨烯薄膜转移至衬底上，作为石墨烯沟道层；在石墨烯沟道层的两端形成源电极和漏电极；在石墨烯沟道层上沉积普鲁士蓝；在普鲁士蓝上修饰生物分子识别层。本发明使酶催化底物产生的双氧水先与电媒介物质普鲁士蓝发生反应，并将反应电子直接注入或导出石墨烯沟道，有效提高石墨烯场效应晶体管生物传感器的检测灵敏度和选择性。