一种具有自组装模板的AlGaN复合薄膜及其制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种具有自组装模板的AlGaN复合薄膜及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010830369.0	申请日	-
公开（公告）号	CN112086543B	公开（公告）日	2021-11-26
申请公布号	CN112086543B	申请公布日	2021-11-26
分类号	H01L33/12;H01L33/32;H01L33/00	分类	基本电气元件;
发明人	张骏;岳金顺;梁仁瓅	申请（专利权）人	苏州紫灿科技有限公司
代理机构	武汉智嘉联合知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	易贤卫
地址	215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇城司路158号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种具有自组装模板的AlGaN复合薄膜及其制备方法，所述具有自组装模板的AlGaN薄膜由下至上依次设置有蓝宝石衬底、AlN低温缓冲层、高温AlN层、AlGaN自组装模板层和高温AlGaN薄膜层；所述AlGaN自组装模板层由紧贴设置的AlInGaN薄膜层和AlGaN低温层升温退火至In升华后制得，且升温退火前所述AlInGaN薄膜层位于靠近所述高温AlN层一侧，所述AlGaN低温层位于靠近所述高温AlGaN薄膜层一侧。本发明通过AlInGaN薄膜层和AlGaN低温层经升温退火至In升华后，形成具有图形化的AlGaN自组装模板层，该AlGaN自组装模板层可以有效过滤来源于高温AlN层的穿透位错，并释放生长过程中积累的热应力，从而显著提高AlGaN复合薄膜的质量并防止薄膜开裂。