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电荷平衡器件及其制造方法

基本信息

申请号 CN201911280574.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112993008A 公开（公告）日 2021-06-18
申请公布号 CN112993008A 申请公布日 2021-06-18
分类号 H01L29/06;H01L29/872;H01L29/78;H01L21/04 分类 基本电气元件;
发明人 周翔 申请（专利权）人 南通尚阳通集成电路有限公司
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 郭四华
地址 226000 江苏省南通市崇川区崇川路79号国际青创园1号楼18层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电荷平衡器件，漂移区中包括一层以上的电荷平衡层；漂移区的导电载流子类型为第一导电类型；电荷平衡层包括：第一导电类型的第一外延层以及在第一外延层的选定区域中形成的多个第二导电类型掺杂的第一掺杂区；各第一掺杂区的结深小于第一外延层的厚度，各第一掺杂区之间具有间距；电荷平衡层内的第一外延层和各第一掺杂区电荷平衡，在漂移区承受反向偏压时电荷平衡层内的第一外延层和各第一掺杂区互相完全耗尽。本发明公开了一种电荷平衡器件的制造方法。本发明能降低器件的比导通电阻、开通能量损耗和开关动态损耗，能很好的适用于例如碳化硅等杂质不容易扩散的半导体材料形成的器件，工艺更易实现且成本更低。