一种烘干结构
基本信息
申请号 | CN201920066908.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210425801U | 公开(公告)日 | 2020-04-28 |
申请公布号 | CN210425801U | 申请公布日 | 2020-04-28 |
分类号 | F26B9/06;F26B21/04;F26B21/14;F26B25/00 | 分类 | 干燥; |
发明人 | 戴洪烨 | 申请(专利权)人 | 无锡釜川科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁永昌 |
地址 | 200000 上海市嘉定区澄浏公路52号39幢2楼J1078室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种烘干结构,包括烘干槽体,所述烘干槽体呈上开口的结构,所述烘干槽体内放置有带硅片的载具,所述烘干槽体外设有上开口的加热系统,所述烘干槽体的底部设有连同加热系统的通风孔,形成上开口的循环烘干结构,所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板。本实用新型结构紧凑,烘干效率得到大幅提升,传统烘干系统需要600秒烘干时间,采用结构烘干系统只需要200秒即可;且本实用新型体积小,可安装在设备内部,烘干效率较传统烘干系统有大幅度提升。 |
