一种槽盖热风循环烘箱
基本信息
申请号 | CN201911380177.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111306902A | 公开(公告)日 | 2020-06-19 |
申请公布号 | CN111306902A | 申请公布日 | 2020-06-19 |
分类号 | F26B9/06(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 王相军 | 申请(专利权)人 | 无锡釜川科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京专赢专利代理有限公司 | 代理人 | 刘梅 |
地址 | 201800上海市嘉定区徐行镇武乡路89号1幢 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明适用于光伏用硅片加工技术领域,提供了一种槽盖热风循环烘箱,包括烘箱外壳,其内设有隔板,将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道,烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖,所述风道内安装有加热装置,槽盖上设有若干出风口,所述出风口与所述烘干腔位置相对;硅片定位装置,设置在所述烘箱外壳的烘干腔内,用于对硅片进行装夹定位;以及风循环装置,用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动,本发明的有益效果是:热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内,并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行,且能根据气流角度对硅片的角度进行调整,不易造成硅片被吹碎的情况。 |
