一种硅片载具检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202120069511.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214203621U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214203621U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王相军;梁建;戴洪烨;鱼科军 | 申请（专利权）人 | 无锡釜川科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京专赢专利代理有限公司 | 代理人 | 于刚 |
| 地址 | 201808上海市嘉定区徐行镇武乡路89号1幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片载具检测装置，包括机械手勾取组件、载具、感应部和磁铁部，所述机械手勾取组件上固定安装有感应部，所述感应部的底部转动安装有旋转轴，所述磁铁部转动安装在旋转轴上，所述感应部与磁铁部通过磁感应方式传输信号，所述载具上固定安装有横杆，所述机械手勾取组件与载具卡接配合，通过感应部和磁铁部磁感应方式进行压篮检测，不受环境内雾气等干扰条件影响，能够显著提高检测的可靠性，同时此检测装置反应灵敏，能及时异常做出反应，有效降低因异常带来的设备或产品损害。 |
