一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置

基本信息

申请号 CN202021010826.3 申请日 -
公开(公告)号 CN212299590U 公开(公告)日 2021-01-05
申请公布号 CN212299590U 申请公布日 2021-01-05
分类号 F25D3/10(2006.01)I 分类 制冷或冷却;加热和制冷的联合系统;热泵系统;冰的制造或储存;气体的液化或固化;
发明人 孔超;陈立;任杰;李林 申请(专利权)人 中山易必固电子束科技有限公司
代理机构 北京金之桥知识产权代理有限公司 代理人 中山易必固新材料科技有限公司
地址 528437广东省中山市火炬开发区九沙路6号3幢5层
法律状态 -

摘要

摘要 一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置,包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱,所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连,所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连,所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器,所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器,所述液氮换热器设置在水箱中。本实用新型利用液氮汽化过程对冷却水进行冷却,有效降低了电能消耗。