三位一体多晶硅定向结晶炉
基本信息
| 申请号 | CN200820059254.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201241198Y | 公开（公告）日 | 2009-05-20 |
| 申请公布号 | CN201241198Y | 申请公布日 | 2009-05-20 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I;B22D27/04(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 潘健武 | 申请（专利权）人 | 上海今科新能源材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 胡美强 |
| 地址 | 200233上海市桂箐路69弄30号楼5E | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种三位一体多晶硅定向结晶炉，包括：坩埚(7)；所述的坩埚(7)是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚；在坩埚(7)的二侧安置感应圈(6)；在坩埚(7)的上部安置一个等离子枪(9)；所述的坩埚(7)、感应圈(6)以及等离子枪(9)的前端安置在一个密封的炉(20)中；在容器(20)的上端侧旁设置一个加料口(11)；本实用新型的有益效果是：可以对硅材料实施提纯工艺，又具有多晶硅定向结晶铸锭的功能。 |
