一种鼓泡供源柜
基本信息
| 申请号 | CN202121145064.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214744972U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214744972U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | F17C13/08（2006.01）I;F17C13/02（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 郑少宾;甘泽光;黄加政 | 申请（专利权）人 | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘泽正 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道锦龙二路5号阳光科技园E-4栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种鼓泡供源柜，包括柜体，柜体中设有水平隔板，水平隔板将柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，上控制柜中设有竖向隔板，竖向隔板将上控制柜分隔成内控制区和外控制区，外控制区和下源瓶柜中均设有烟雾探测器，外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，外控制区中设有气体检测器，下源瓶柜中设有瓶体固定组件，柜体的底部安装有移动装置。与现有技术相比，本实用新型结构紧凑，将空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置集成于一体，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，很大程度上解决了源瓶存储放置及运输的问题，安全性高，实用性强。 |
