一种源瓶输送柜
基本信息
| 申请号 | CN202121147463.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214744973U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214744973U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | F17C13/08（2006.01）I;F17C13/02（2006.01）I;F17C13/04（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I;F17D5/06（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 郑少宾;甘泽光;胡云霞 | 申请（专利权）人 | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘泽正 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道锦龙二路5号阳光科技园E-4栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种源瓶输送柜，包括柜体及柜门，所述柜体的顶部设有电气控制箱和指示灯，所述柜体中设有源瓶，所述源瓶的上方设有阀门控制组件，所述柜体管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯和阀门控制组件均与所述电气控制箱电连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种源瓶输送柜，集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置于一体的设备，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示。很大程度上解决了双瓶源液柜的存储放置问题，防止特殊气体泄露，使得源液柜变得方便安全，并且大大减少了设备的占地面积，节约工厂建设成本。 |
