一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备
基本信息
| 申请号 | CN202020841222.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212881057U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212881057U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | B01D1/00(2006.01)I;B01D1/30(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 郑少宾;可建;聂庆庆;梁显宁 | 申请（专利权）人 | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沈锋 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道锦龙二路5号阳光科技园E-4栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型源液蒸发柜领域，尤其涉及一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，包括：柜体，设置在柜体中的缓冲罐、源液罐、蒸发器、真空发生器，若干输出管阀和扫吹管阀，以及设置在柜体外壳体上的微控制器；采用本实用新型，源液罐配合缓冲罐实现了带源蒸发柜的应用，并且通过缓冲罐实现了源液罐的在线更换；源液罐与缓冲罐出液端设有液体流量计，手动隔膜阀后段设置有气体流量计，配合微控制器，实现信息的数据化采集，并信号控制真空发生器与蒸发器，显示操作的信息化与自动化。 |
