一种中红外双波段带通滤光片及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010104444.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111175874B | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN111175874B | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G02B5/20（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/32（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 岳威;张阔;刘连泽;韩永昶 | 申请（专利权）人 | 北京华北莱茵光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京天江律师事务所 | 代理人 | 任崇 |
| 地址 | 100020北京市朝阳区酒仙桥路2号院内11所3号楼4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种中红外双波段带通滤光片及其制备方法，一种中红外双波段带通滤光片，包括基底和形成在基底两侧表面上的带通滤光膜、负滤光膜；该滤光片的膜系结构为：8^（LH）9^（HL）|Si|（LH）^9（HL）^3H；其中，Sub为基底，L为SiO膜层，H为Ge膜层。一种中红外双波段带通滤光片的制备方法，包括以下步骤：在基底上单面镀制带通滤光膜；在基底另一面镀制负滤光膜。本发明主要针对3μm～5μm中红外波段提供一种3.7－4.1μm以及4.55－4.8μm双波段带通滤波同时抑制4.26μm附近干扰能量的介质薄膜涂层，其本身具有高透射率、双波段带通、可靠性好，环境适应性强的特性。 |
