金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202110596182.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113253873A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113253873A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G06F3/041（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/10（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;C23F1/18（2006.01）I;C23F1/26（2006.01）I;C23F1/28（2006.01）I;B05D7/24（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 傅志敏;郑建万;秦重虎;张莉;黄勇祥;刘永生 | 申请（专利权）人 | 宜昌南玻显示器件有限公司 |
| 代理机构 | 宜昌市三峡专利事务所 | 代理人 | 高阳 |
| 地址 | 443000湖北省宜昌市自贸区宜昌片区发展大道57-5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法，包括以下步骤：选择最小线宽加工能力为10um的曝光设备作为加工设备；先在金属网格结构触摸屏的玻璃基材或PET膜材上镀上一层金属膜层，对已镀金属膜层的产品利用黄光工艺在整面涂覆一层光刻胶，再经过紫外曝光工艺和显影工艺加工出11um的光刻胶保护线路，对显影后的产品进行烘烤坚膜；对烘烤后产品进行酸液蚀刻和光刻胶脱膜；通过涂布设备，在产品整面涂布一层有机材料保护层，再经过曝光显影和烘烤工序，在产品的表面形成一层有机材料保护层。本发明利用在10um曝光能力的设备条件下，制备出5um线宽的金属线路，达到金属网格结构触摸屏对金属线路的基本要求。 |
