连续均匀镀膜的调节方法
基本信息
| 申请号 | CN201910779665.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110373648B | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN110373648B | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | C23C14/54;C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 方凤军;何建军;崔继文;李会社;杜圣峰 | 申请（专利权）人 | 宜昌南玻显示器件有限公司 |
| 代理机构 | 宜昌市三峡专利事务所 | 代理人 | 成钢 |
| 地址 | 443000 湖北省宜昌市自贸区宜昌片区发展大道57-5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种连续均匀镀膜的调节方法，通过光度计、椭偏仪或台阶仪测试当前玻璃上各位置的膜层厚度，进而掌握膜厚变化规律；在旋转阴极的A管与CM3腔室边缘处，加装光电感应器；光电感应器与控制器电连接，控制器与旋转阴极电连接；当镀膜框架KJ1到达光电感应器的位置时，计时器计时“0”秒，根据掌握的膜厚变化规律，降低或升高A管的转速r；降低转速r会降低溅射率s，从而降低镀膜厚度，升高转速r会增加溅射率s，从而增加镀膜厚度；实现行进方向膜厚均匀性的精细调节。 |
