一种图形化蓝宝石衬底的回收方法
基本信息
| 申请号 | CN201510021864.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105845786A | 公开（公告）日 | 2016-08-10 |
| 申请公布号 | CN105845786A | 申请公布日 | 2016-08-10 |
| 分类号 | H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 胡红坡;刘英策;袁述 | 申请（专利权）人 | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 528200 广东省佛山市南海区平洲金谷光电社区A座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，包括以下步骤：在氮气和/或氢气的气氛下，对LED外延片进行高温烘烤，去除图形化蓝宝石衬底上的外延层；使用氢氧化钾溶液和/或氢氧化钠溶液，对高温烘烤后的图形化蓝宝石衬底进行腐蚀；使用超纯水对腐蚀后的图形化蓝宝石衬底进行清洗，从而得到能够重新使用的图形化蓝宝石衬底，极大地提高了图形化蓝宝石衬底的利用率，进而降低了LED芯片的生产成本。此外，该方法简单易行，安全方便，回收周期短，效果好。 |
