一种蓝宝石衬底图形化制作的方法
基本信息
| 申请号 | CN201611225598.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106816506A | 公开（公告）日 | 2017-06-09 |
| 申请公布号 | CN106816506A | 申请公布日 | 2017-06-09 |
| 分类号 | H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘硕;刘治;万小承 | 申请（专利权）人 | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人 | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 528000 广东省佛山市南海区平洲金谷光电社区A座一、二楼厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种蓝宝石衬底图形化制作的方法，包括如下步骤：在蓝宝石衬底上制作二维图案；在二维图案的蓝宝石衬底上制作三维图案。本发明通过两次图案制作，在可以实现蓝宝石衬底的生长表面呈现周期性起伏分布的外延片，增加外延层的出光面积，可进一步提高氮化镓基发光二极管的光功率。 |
