一种具有反射和电流阻挡特性的发光元件及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201210559322.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103887384B | 公开（公告）日 | 2018-05-04 |
| 申请公布号 | CN103887384B | 申请公布日 | 2018-05-04 |
| 分类号 | H01L33/14;H01L33/10 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李琦 | 申请（专利权）人 | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京瑞恒信达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 广东量晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 528251 广东省佛山市南海区平洲永安北路1号金谷光电社区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种具有反射和电流阻挡特性的发光元件及其制造方法，包括1）在衬底上依次外延生长缓冲层、n型氮化镓基外延层、有源层和p型氮化镓基层；2）在p型氮化镓层上表面蚀刻出凹槽；3）用金属反射材料填充p型氮化镓层上的凹槽；4）制备电流阻挡层，该电流阻挡层覆盖所述金属反射材料；5）在电流阻挡层制备透明导电层，最后再制备p型电极和n型电极。本发明能够提升发光元件外量子效率,并且成本低、工艺简单且可靠性高。 |
