镀膜试验机真空泵免停机密闭装置

基本信息

申请号 CN201721592513.1 申请日 -
公开(公告)号 CN207581927U 公开(公告)日 2018-07-06
申请公布号 CN207581927U 申请公布日 2018-07-06
分类号 C23C14/56 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 胡凡 申请(专利权)人 河南康耀电子股份有限公司
代理机构 郑州万创知识产权代理有限公司 代理人 河南康耀电子股份有限公司
地址 472400 河南省三门峡市渑池县产业集聚区
法律状态 -

摘要

摘要 镀膜试验机真空泵免停机密闭装置,包括镀膜机机体和位于镀膜机机体内侧的镀膜机内筒,所述镀膜机机体的外侧通过第一真空连接管固定连接有设有阀室,阀室的下部连接有真空泵,阀室的外侧通过第二真空连接管连接有阀门气缸,第一和二真空连接管均水平设置,真空泵竖向设置;所述阀室内设有真空隔离阀,真空隔离阀包括阀板,真空泵的进气口称为真空泵口,阀板位于真空泵口处且在关闭真空泵口时阀板与真空泵口形成密封连接,在阀室内且在真空泵口靠近阀门气缸处竖向设有支座,本实用新型通过气缸带动连杆控制阀板的起开和关闭,在关闭时,真空泵不需要停机和再次启动,在镀膜机安装好电子玻璃开始镀膜后就可以迅速打开阀板,进行抽真空作业,而不需要再次等待真空泵的启动。