镀膜试验机靶位滑动移出装置

基本信息

申请号 CN201721593352.8 申请日 -
公开(公告)号 CN207581905U 公开(公告)日 2018-07-06
申请公布号 CN207581905U 申请公布日 2018-07-06
分类号 C23C14/22;C23C14/54 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 胡凡 申请(专利权)人 河南康耀电子股份有限公司
代理机构 郑州万创知识产权代理有限公司 代理人 河南康耀电子股份有限公司
地址 472400 河南省三门峡市渑池县产业集聚区
法律状态 -

摘要

摘要 镀膜试验机靶位滑动移出装置,包括筒状的镀膜机机体和位于镀膜机机体内的镀膜机内筒,在镀膜机机体外侧面的周边开设有多个靶位门洞,靶位门洞的外侧面称为门洞密封面,在镀膜机机体底部对应于各靶位门洞处设有水平的滑动底座,滑动底座上设有滑轨,滑轨的延伸方向为沿镀膜机内筒的径向方向设置;滑轨上滑动连接有靶位底座,靶位底座的内侧面的边沿处为靶位密封面,门洞密封面和靶位密封面之间设有密封结构,靶位底座的内侧面上还设有镀膜靶位,镀膜靶位位于靶位密封面的内侧。本实用新型通过可以打开的滑动底座将镀膜靶位从靶位门洞拉开,从而使镀膜靶位完全暴露,方便进行更换、维修等等操作,而不是受空间限制无法进行各种操作。