一种防止OLED材料受热老化的加热装置

基本信息

申请号 CN202011457539.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112575293A 公开(公告)日 2021-03-30
申请公布号 CN112575293A 申请公布日 2021-03-30
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 孙浩;李牧词;茆胜 申请(专利权)人 深圳市智联汇网络系统企业(有限合伙)
代理机构 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘少伟
地址 518000广东省深圳市南山区粤海街道科丰路2号特发信息港D栋一楼东侧2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明为涉及一种防止OLED材料受热老化的加热装置,包括:坩埚主体、加热模块、冷却模块、动力机构,在所述坩埚主体填充有物料,包括位于所述坩埚主体的上部的蒸发区和位于所述坩埚主体的下部的冷却区;动力机构设置所述的坩埚主体的底部,用以推动所述物料在坩埚主体内移动。有益效果是:通过在加热源中增加水冷组件,有效的防止了加热源内OLED材料长时间受热老化的问题,可大幅提升单次加入OLED材料的量,从而实现更长的加料周期,显著提高生产效率。