一种可实时监控坩埚内剩余材料的蒸发源
基本信息
| 申请号 | CN202011591130.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112575307A | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN112575307A | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孙浩;李牧词;茆胜 | 申请（专利权）人 | 深圳市智联汇网络系统企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 上海洞鉴知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘少伟 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区粤海街道科丰路2号特发信息港D栋一楼东侧2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明为涉及一种可实时监控坩埚内剩余材料的蒸发源，包括：坩埚主体在所述坩埚主体填充有物料；加热模块设置在所述坩埚主体的外侧，用以加热所述坩埚主体内的物料；称重模块设置在所述坩埚主体的下部，包括底座、称重传感器、以及隔离层，所述称重传感器固定在所述底座上，所述隔离层位于所述坩埚主体与称重传感器之间；所述隔离层包括隔热柱，所述隔热柱的下端安装固定在所述称重传感器上，另一端用以支撑所述坩埚主体。有益效果是：通过称重模块可精确监控坩埚中剩余材料的实时精确监控，一方面可有效提高材料的使用效率，避免浪费，降低生产成本；另一方面可以避免生产过程中材料耗尽造成的工艺偏差及面板报废问题，有效提升良品率。 |
