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一种强流霍尔离子源系统

基本信息

申请号 CN201110157976.6 申请日 -
公开（公告）号 CN102832091A 公开（公告）日 2012-12-19
申请公布号 CN102832091A 申请公布日 2012-12-19
分类号 H01J27/16(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨松涛 申请（专利权）人 北京中科九章空间科技发展有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100190 北京市海淀区北四环西路9号银谷大厦907
法律状态 -

摘要

摘要 一种强流霍尔离子源。通常，霍尔离子源产生的离子流密度与能量偏低，不能满足较高要求的镀膜需要。本发明的目的是要提供一种离子流密度与能量较高的强流霍尔离子源系统。