一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置
基本信息
| 申请号 | CN201920788135.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209859929U | 公开（公告）日 | 2019-12-27 |
| 申请公布号 | CN209859929U | 申请公布日 | 2019-12-27 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）; H01L31/18（2006.01）; F26B15/14（2006.01）; F26B21/00（2006.01）; F26B25/00（2006.01） | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈国龙 | 申请（专利权）人 | 深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司 |
| 地址 | 518109 广东省深圳市龙华新区大浪街道华旺路和科达工业园3号厂房三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置，包括用于支撑整个干燥装置的机架、固定在机架上的隧道炉、设于隧道炉顶部的FFU干燥装置、用于装载硅片的花篮和用于将花篮移入隧道炉内进行干燥的干燥移栽机构；机架上、隧道炉的两侧分别为上料位和下料位，隧道炉的上料位侧设有隧道炉入料门装置，隧道炉的下料位侧设有隧道炉出料门装置。本实用新型通过花篮装载硅片有助于对硅片进行保护，降低了硅片的损伤概率。 |
