一种制绒机设备的鼓泡装置及包含该装置的制绒机设备
基本信息
| 申请号 | CN201820711546.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208127163U | 公开（公告）日 | 2018-11-20 |
| 申请公布号 | CN208127163U | 申请公布日 | 2018-11-20 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钟建;粱海华;蒋威余 | 申请（专利权）人 | 深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司 |
| 地址 | 518109 广东省深圳市龙华新区大浪街道华旺路和科达工业园3号厂房三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种制绒机设备的鼓泡装置及包含该装置的制绒机设备，所述鼓泡装置包括：用于盛装浸泡药液的药液槽(1)、鼓泡管(2)、设置于鼓泡管(2)和硅片载具(5)之间的均气板(3)，所述硅片载具(5)、均气板(3)和鼓泡管(2)安装在所述药液槽(1)内，所述鼓泡管(2)用于产生气泡撞击装在所述硅片载具(5)上的硅片，所述均气板(3)上均匀开设有多个导泡孔，所述多个导泡孔用于将所述鼓泡管(2)产生的气泡导向所述硅片。基于本实用新型，可以利用气泡撞击装在硅片载具上的硅片以使药液与硅片充分接触，从而得到良好的金字塔结构，而且本实用新型结构简单，便于生产和维护。 |
