一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具

基本信息

申请号 CN201922323767.9 申请日 -
公开(公告)号 CN211440664U 公开(公告)日 2020-09-08
申请公布号 CN211440664U 申请公布日 2020-09-08
分类号 B28D5/02(2006.01)I 分类 -
发明人 张广雨;张慧;朱雪明 申请(专利权)人 北京亦盛精密半导体有限公司
代理机构 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京亦盛精密半导体有限公司
地址 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于单晶硅和多晶硅材料切削的成型刀具,属于机械加工技术领域,刀杆、刀盘和倒角部,所述刀杆设置有第一空腔,所述刀盘为圆环状结构其顶端设置有上凸部,所述上凸部的侧壁与刀杆连接,所述刀盘的下端连接有倒角部,所述倒角部为锥体结构,所述刀盘设置有多个切削槽,所述切削槽的上端与刀盘的顶面之间有间距,所述切削槽下端延伸至倒角部。本实用新型使用时,可以一次成型,生产过程简单,致密度高,制品尺寸精确,表面质量高。