一种泡生法单晶炉的全角度视窗
基本信息
申请号 | CN201220102245.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202595329U | 公开(公告)日 | 2012-12-12 |
申请公布号 | CN202595329U | 申请公布日 | 2012-12-12 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 王元斌;邹宇琦;曹凤凯;刘献伟 | 申请(专利权)人 | 上海施科特光电材料有限公司 |
代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海施科特光电材料有限公司 |
地址 | 201403 上海市奉贤区航南公路3958号4幢 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型一种泡生法单晶炉的全角度视窗,其特征结构是:籽晶杆顶端通过炉盖中央的炉盖上凸口,再通过密封连接体与波纹管连接,实现了真空状态下通过波纹管对籽晶杆的控制;炉盖为上下平面的结构,在炉盖上设置三个视窗;三个视窗通过三个视窗筒体成阵列倾斜设置在炉盖上并高于炉盖的高度;视窗筒体的顶端通过密封圈安装石英玻璃;在三个视窗筒体下端的炉盖上设有三快受控制按钮控制的挡板:需要观察时,转开挡板通过视窗观察炉内情况,不需观察时,用挡板遮住视窗下端,其隔热作用能保护石英玻璃在高温下正常工作。本实用新型有利于清晰观察泡生法单晶炉内晶体的生长情况,有利于技术人员控制和及时调整,有利于长出优质的蓝宝石单晶体。 |
