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一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法

基本信息

申请号 CN201210391182.0 申请日 -
公开（公告）号 CN102912439A 公开（公告）日 2013-02-06
申请公布号 CN102912439A 申请公布日 2013-02-06
分类号 C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘剑;曹凤凯;刘献伟;姚涛涛;张亚宁;袁洋;邵永正 申请（专利权）人 上海施科特光电材料有限公司
代理机构 上海翼胜专利商标事务所（普通合伙） 代理人 上海施科特光电材料有限公司
地址 201403 上海市奉贤区航南公路3958号4幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及人造蓝宝石技术领域，是一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法，包括以下步骤：⑴在完成人造蓝宝石生长的准备工作后开启机械泵；⑵开启可变频分子泵；⑶关闭分子泵并向炉内充入高纯氩气；⑷在控制系统中设定炉内真空压力值；⑸分子泵运行使炉内真空压力与设定值相符；⑹炉内真空压力达到设定值后开始加热升温；本发明的积极效果是：通过使用可变频分子泵提高蓝宝石生长炉炉内的压力，热场挥发物和籽晶上粘附的挥发物明显减少，引晶质量有较大提高，同时，降低了真空系统的能耗；加入惰性气体后减少了炉内挥发物的残留，能有效保护炉内热场不被氧化；本发明的方法工艺步骤合理，容易操作。