镀膜承载结构的改良

基本信息

申请号 CN200410060110.3 申请日 -
公开(公告)号 CN100365162C 公开(公告)日 2008-01-30
申请公布号 CN100365162C 申请公布日 2008-01-30
分类号 C23C14/50(2006.01) 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 李荣洲 申请(专利权)人 东莞信泰光学有限公司
代理机构 上海开祺知识产权代理有限公司 代理人 亚洲光学股份有限公司;东莞信泰光学有限公司
地址 台湾省台中潭子乡台中加工出口区南二路22-3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种镀膜承载结构的改良,该结构应用于真空镀膜设备中并用来承载需镀膜的元件,其至少包括有一具有一定承载面积的伞状承载座、位于承载座的中心并可将承载座连接至动力源轴承上的安装孔,以及若干个排布于承载座上并具菱形结构的镀膜孔。镀膜承载结构的每一镀膜孔均可安装一与其构形相同的菱形接合部,而每一菱形接合部均可容纳多个镀膜元件。借由该镀膜承载结构的改良构造可使得每次镀膜的元件数量增加,从而提升镀膜效率。