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一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置

基本信息

申请号 CN202120918208.7 申请日 -
公开（公告）号 CN215008141U 公开（公告）日 2021-12-03
申请公布号 CN215008141U 申请公布日 2021-12-03
分类号 H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 蔡敏 申请（专利权）人 福建慧芯激光科技有限公司
代理机构 泉州市文华专利代理有限公司 代理人 陈云川
地址 362100福建省泉州市惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，所述去边装置包括支架，喷嘴装置和弹性部件，所述喷嘴装置包括喷嘴和与喷嘴连接的抵接部，所述弹性部件的一端连接在所述支架上，另一端抵顶在所述抵接部上；将去边装置设置在晶圆涂布装置的侧边，喷嘴装置上的抵接部被弹性部件施加作用力抵顶在晶圆上，当需要对晶圆边缘残留进行去除时，让晶圆与去边装置相对的转动，喷嘴装置上的喷嘴朝着晶圆的边缘喷涂清洗剂，当晶圆的平边转动靠近喷嘴时，由于弹性部件始终对抵接部施加弹力，抵接部一直抵压在晶圆的边缘上，从而使得抵接部上的喷嘴能够对晶圆的圆边及晶圆的平边进行有效的清洗。