一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具
基本信息
| 申请号 | CN202122293252.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214503816U | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN214503816U | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 洪斌 | 申请（专利权）人 | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市博一专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 洪渊源;苏秋桂 |
| 地址 | 362100福建省泉州市惠安县惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，涉及半导体光电子技术领域，包括支架和探针固定器，探针固定器可调节地设置于支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部。需要更换探针时，用探针固定器夹持探针，并将支架固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换，操作简单方便，有效提高了探针的更换速率，并且能避免因人为因素而造成的探针损伤，充分降低了测试成本。 |
