一种VCSEL芯片氧化实时监控设备
基本信息
| 申请号 | CN202121409767.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215299779U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215299779U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | H01S5/183（2006.01）I;H01S5/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 鄢静舟;王坤;杨奕;糜东林 | 申请（专利权）人 | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市博一专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 方传榜;苏秋桂 |
| 地址 | 362100福建省泉州市惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种VCSEL芯片氧化实时监控设备，包括氧化装置、供气装置、监控光纤、光谱分析仪和控制箱；氧化装置设有用于放置外延片的氧化室；供气装置包括第一氮气源，第一氮气源通过第一载气通道连通于氧化室内，并设有第一调节阀；光谱分析仪通过监控光纤实时采集外延片的反射光谱；控制箱电连接于光谱分析仪和第一调节阀，用于接收光谱分析仪采集的数据，并通过第一调节阀控制外延片的氧化过程。本实用新型结构简单，易于操作，能够确保外延片A的氧化制程精确可控，即使不同批次的外延片出现氧化物理控制参数波动，也不会出现过氧化或少氧化的问题，能够保证各批次产品氧化孔径的一致性，有效地提高产品的良率、性能和可靠性。 |
