稳定的石英承载装置

基本信息

申请号 CN202121165480.9 申请日 -
公开(公告)号 CN215578485U 公开(公告)日 2022-01-18
申请公布号 CN215578485U 申请公布日 2022-01-18
分类号 H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 朱海艳 申请(专利权)人 凯德芯贝(沈阳)石英有限公司
代理机构 辽宁中科品创专利代理事务所(普通合伙) 代理人 肖月华
地址 110000辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-C2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种稳定的石英承载装置,稳定的石英承载装置放置在桌面上,稳定的石英承载装置包括:底板、通孔、侧板、手柄、第一限位杆、第一卡槽、第二限位杆、第二卡槽和加固杆;底板上设置通孔,确保装置透气性的同时,增大装置与底板的接触面积,使点支撑变为面支撑,从而避免接触点过小,装置易翻转、倾倒的问题产生,提高装置的稳定性。通过设置第一限位杆和第二限位杆对圆晶片进行支撑,避免圆晶片从装置上掉落,确保圆晶片的稳定性;通过设置第一卡槽和第二卡槽,对圆晶片进行限位,确保每个圆晶片之间的间距固定,避免圆晶片相互接触、碰撞,确保圆晶片加工时的稳定性,保证加工正常进行,保证圆晶片的生产质量,保证产生效率。