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一种可调节存放空间的石英舟

基本信息

申请号 CN202121157521.X 申请日 -
公开（公告）号 CN215069901U 公开（公告）日 2021-12-07
申请公布号 CN215069901U 申请公布日 2021-12-07
分类号 H01L21/673（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 朱海艳 申请（专利权）人 凯德芯贝（沈阳）石英有限公司
代理机构 辽宁中科品创专利代理事务所（普通合伙） 代理人 肖月华
地址 110000辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-C2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种可调节存放空间的石英舟，壳体的内侧壁通过安装座固定安装有轴承座，两个螺纹杆的外侧壁螺纹连接有固定座，固定座的上侧壁固定连接有连接杆的一端，连接杆的另一端固定连接有隔板，通过操作杆带动其中一个活动轴转动，使得螺纹杆随着活动轴转动，通过两个轴承座内部的轴承对两个活动轴进行支撑，保证螺纹杆操作过程的稳定性，从而提高了两个隔板调节过程的稳定性，在螺纹杆转动的时候，使得隔板随着连接杆在石英舟主体的内壁贴合移动，从而调整了隔板的位置，调整了内部的存放空间，根据晶圆片的形状大小进行调整，使得石英舟主体可以用于放置不同大小的晶圆片。