带有限位功能的石英承载器

基本信息

申请号 CN202121159546.3 申请日 -
公开(公告)号 CN215555057U 公开(公告)日 2022-01-18
申请公布号 CN215555057U 申请公布日 2022-01-18
分类号 B65D21/08(2006.01)I;B65D25/10(2006.01)I;B65D25/02(2006.01)I;B65D81/05(2006.01)I;B65D85/48(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 李光华 申请(专利权)人 凯德芯贝(沈阳)石英有限公司
代理机构 辽宁中科品创专利代理事务所(普通合伙) 代理人 肖月华
地址 110000辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-C2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种带有限位功能的石英承载器,涉及石英技术领域;石英承载器用于承载晶圆片,带有限位功能的石英承载器包括:支撑柱、第一连接板、第一滑槽、第一固定轴、第一限位槽、第一螺母、第二连接板、第二滑槽、第二固定轴、第二限位槽和第二螺母;四个支撑柱竖直设置,且四个支撑柱之间有距离;两个第一连接板的两端分别与相邻两个支撑柱相连接,且两个第一连接板位置相对;两个第一滑槽分别设置在两个第一连接板上;第一固定轴两端的外壁设有第一外螺纹,两个第一固定轴的两端分别嵌入两个第一滑槽内,且两个第一固定轴之间有距离。