一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202022551717.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213728327U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213728327U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | B08B9/032（2006.01）I;B08B9/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B01D29/03（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 詹闵翔;何郁璞;黄郁璿 | 申请（专利权）人 | 郑州合晶硅材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 451163河南省郑州市郑州航空港经济综合实验区规划工业四路以南、华夏大道以西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，包括工作台，所述工作台的顶端表面设置有固定架，两个所述固定架之间贯通安装有旋转轴，且旋转轴与固定架的相交处设置有齿轮，所述旋转轴的表面一侧设置有套筒，所述套筒的内部设置有第一阻尼弹簧。本实用新型中，旋转轴的表面设置有套筒，套筒的内部设置有第一阻尼弹簧，套筒的顶端表面贯通设置有限位杆，且限位杆的表面套接有第二阻尼弹簧，限位杆的两端端部设置有限位块，在限位块的顶端表面设置有毛刷，利用第一阻尼弹簧和第二阻尼弹簧的弹性作用，使得毛刷与旋转轴之间的距离能够调节，从而实现了对不同孔径炉管的清洗需要，极大的提高了清洗装置的实用性。 |
