芯片与蓝膜分离装置

基本信息

申请号 CN201320728915.5 申请日 -
公开(公告)号 CN203659910U 公开(公告)日 2014-06-18
申请公布号 CN203659910U 申请公布日 2014-06-18
分类号 H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 代克明 申请(专利权)人 深圳盛世天予科技发展有限公司
代理机构 深圳市硕法知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 深圳盛世天予科技发展有限公司
地址 518000 广东省深圳市南山区高新南一路009号科技开发院配套服务楼507室
法律状态 -

摘要

摘要 一种芯片与蓝膜分离装置,包括分离机座,所述分离机座上设置有一分离驱动装置,所述分离驱动装置驱动一芯片分离筒上下移动,所述芯片分离筒为开口向上的筒形,所述芯片分离筒内设置有一芯片顶针,所述顶针与开口齐平或稍低于开口,所述芯片分离筒管接一真空发生器。