芯片与蓝膜分离装置
基本信息
申请号 | CN201320728915.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203659910U | 公开(公告)日 | 2014-06-18 |
申请公布号 | CN203659910U | 申请公布日 | 2014-06-18 |
分类号 | H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 代克明 | 申请(专利权)人 | 深圳盛世天予科技发展有限公司 |
代理机构 | 深圳市硕法知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 深圳盛世天予科技发展有限公司 |
地址 | 518000 广东省深圳市南山区高新南一路009号科技开发院配套服务楼507室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种芯片与蓝膜分离装置,包括分离机座,所述分离机座上设置有一分离驱动装置,所述分离驱动装置驱动一芯片分离筒上下移动,所述芯片分离筒为开口向上的筒形,所述芯片分离筒内设置有一芯片顶针,所述顶针与开口齐平或稍低于开口,所述芯片分离筒管接一真空发生器。 |
