制备蓝宝石晶体的改进的泡生法及晶体生长炉

基本信息

申请号 CN201810398227.4 申请日 -
公开(公告)号 CN108588832A 公开(公告)日 2018-09-28
申请公布号 CN108588832A 申请公布日 2018-09-28
分类号 C30B29/20;C30B17/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;白伟;陈程;姜恒;于海群 申请(专利权)人 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司
地址 015100 内蒙古自治区巴彦淖尔市巴彦淖尔经济技术开发区富源北路1号管委会大楼112室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供一种制备蓝宝石晶体的改进的泡生法及实施该方法的晶体生长炉,该方法包括以下步骤:(a)将晶体生长炉内抽真空,加热使所述晶体生长炉内坩埚中的氧化铝原料熔化,得到熔体;(b)往所述晶体生长炉内充入惰性气体,维持炉内压力为0.1‑100Pa;(c)在压力为0.1‑100Pa的所述惰性气体氛围下,将蓝宝石籽晶放置于所述熔体的液面以下,进行引晶、扩肩生长、等径生长和收尾生长;(d)晶体生长完成后进行退火处理,得到蓝宝石晶体。采用上述技术方案中的改进的泡生法,可以减少热场中钨/钼材料的零部件的升华损耗,减少氧化铝熔体的蒸发,从而延长热场中钨/钼材料的零部件的使用寿命。