一种蓝宝石生长炉用导流系统

基本信息

申请号 CN202021742615.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213327935U 公开(公告)日 2021-06-01
申请公布号 CN213327935U 申请公布日 2021-06-01
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;那木吉拉图;于海群;姜恒;汪海波 申请(专利权)人 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司
代理机构 北京弘权知识产权代理有限公司 代理人 逯长明;许伟群
地址 015100内蒙古自治区巴彦淖尔市经济开发区河套大街南、富源路东(八一乡丰收村)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种蓝宝石生长炉用导流系统,包括坩埚、上保温层、侧保温层、底保温层、籽晶杆、保温件和支撑块。上保温层、侧保温层和下保温层形成具有空心部的圆柱形,坩埚位于空心部内,上保温层具有与空心部相连通的上保温中心孔,上保温中心孔呈上宽下窄的喇叭形,保温件呈锥形,保温件具有过孔,籽晶杆贯穿过孔设置,支撑块支撑在保温件远端与上保温层外壁之间,上保温中心孔的内壁与保温件之间形成挥发物导流通道。本实用新型可降低挥发物掉落坩埚的总量,以提高晶体纯度;降低挥发物掉落导致的晶体内部多晶、气泡、云雾等缺陷的产生几率;降低挥发物掉落进内部系统的几率,同时,不影响通过气流冷却籽晶杆的冷却量。