一种蓝宝石热场结构
基本信息
申请号 | CN202110726151.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113337885A | 公开(公告)日 | 2021-09-03 |
申请公布号 | CN113337885A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 徐永亮;于海群;汪海波;刘飞;白伟 | 申请(专利权)人 | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 |
代理机构 | 北京弘权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明;许伟群 |
地址 | 015100内蒙古自治区巴彦淖尔市经济开发区河套大街南、富源路东(八一乡丰收村) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供的蓝宝石热场结构,包括热场结构本体、主加热器和副加热器,热场结构本体内部设置有用于盛放籽晶的坩埚;在热场结构本体内,主加热器以环绕的形式设置在坩埚的外围,主加热器的外围设置有保温层,保温层包括内保温层和外保温层,副加热器设置在内保温层和外保温层之间的空腔中。本申请的技术方案中主加热器构建长晶热场梯度,并通过将原有的保温层结构替换为保温层加副加热器的结构设计,在提供保温性能的同时可以通过副加热器提供辅助热场梯度。通过主副加热器的协同作用,可以满足大公斤级晶体生长的热场梯度,提高蓝宝石热场结构的经济适用性能。 |
