一种晶圆托举机构
基本信息
| 申请号 | CN201920003162.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209383334U | 公开（公告）日 | 2019-09-13 |
| 申请公布号 | CN209383334U | 申请公布日 | 2019-09-13 |
| 分类号 | B66F11/00（2006.01）I | 分类 | 卷扬；提升；牵引; |
| 发明人 | 刘红军; 杨刚; 单宏; 刘宵婵; 郑金宝; 孟宪圆; 高今朝 | 申请（专利权）人 | 秦皇岛视听机械研究所有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李兴林 |
| 地址 | 066000 河北省秦皇岛市海港区河北大街中段165号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆托举机构，包括承片台，所述承片台通过下方的安装基座连接在探针台上；所述承片台的上表面的中心处均布有四个滑孔，所述安装基座通过连接块与晶圆顶片机构连接。本实用新型结构紧凑、占用空间小，晶圆转运及取放过程稳定，有效的防止了待测晶圆上表面特征和墨点对吸取晶圆的影响，避免了造成待测晶圆的损伤。 |
