压电传感器的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202111116189.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113851577A | 公开（公告）日 | 2021-12-28 |
| 申请公布号 | CN113851577A | 申请公布日 | 2021-12-28 |
| 分类号 | H01L41/22（2013.01）I;H01L41/332（2013.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周书绮 | 申请（专利权）人 | 业成光电（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 成都希盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨冬梅;张行知 |
| 地址 | 611730四川省成都市高新区西区合作路689号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种压电传感器的制作方法包含：形成至少一金属层于至少一基材上；于至少一金属层上依序形成复数个遮罩单元，其中遮罩单元形成遮罩图案；经由遮罩图案蚀刻至少一金属层；以及移除遮罩图案。通过该方法可以节省曝光显影的步骤以及投资于湿式制程机台的成本，以达到节省制造步骤、制造时间以及制造成本的效果。 |
