利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法
基本信息
| 申请号 | CN201610635470.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106169552A | 公开（公告）日 | 2016-11-30 |
| 申请公布号 | CN106169552A | 申请公布日 | 2016-11-30 |
| 分类号 | H01M2/14(2006.01)I;H01M2/16(2006.01)I;H01M10/0525(2010.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵斌 | 申请（专利权）人 | 深圳市第四能源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区福田街道滨河大道5022号联合广场A座2608室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法，该方法是将要处理的PE隔膜在净化房内分切成需要的尺寸后安装在设备的放卷辊上；开启Roll?Roll真空磁控溅射镀膜设备，调整设备至可镀膜工艺条件；开启离子源轰击PE膜，将聚烃高分子键部分打开；在聚烃分子键打开的同时，开启中频溅射阴极，利用中频磁控溅射阴极反应溅射Si靶材，形成SixNy?陶瓷材料嵌入到被打开的聚烃分子键位置，形成陶瓷膜；在真空状态下进行退火处理，消除陶瓷膜应力；收?放卷连续溅镀；整卷镀膜完成；破真空；取下收券辊；取样检查性能；包装入库；它通过利用真空磁控溅射镀膜技术在锂电池用PE隔离膜上沉积一层陶瓷膜，改善PE隔膜对电解液的润湿性和提高PE隔膜热稳定性。 |
