首页/ 安徽省徽商金属股份有限公司/ 专利详情

全单晶硅铸锭炉

基本信息

申请号 CN201410040583.0 申请日 -
公开（公告）号 CN103741205A 公开（公告）日 2014-04-23
申请公布号 CN103741205A 申请公布日 2014-04-23
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 水川;许柏 申请（专利权）人 安徽省徽商金属股份有限公司
代理机构 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 代理人 安徽大晟新能源设备科技有限公司
地址 237000 安徽省六安市霍邱县姚李镇街道
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、上热交换台、下热交换台、升降立柱、水冷盘；所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内，隔热笼内部固定设有上发热体，侧发热体；隔热笼中部设有下热交换台与下发热体、升降立柱固定连接，上热交换台为活动式，其上放置石英坩埚，侧坩埚护板4，侧坩埚护板、上坩埚盖板；隔热笼底部外侧设有水冷盘。本发明结构合理，避免了已有技术中的不足之处，使整个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高了单晶率，缩短了工艺周期，提高了设备的生产效率，可节约能耗、降低铸锭生产成本。