准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构

基本信息

申请号 CN201320463213.9 申请日 -
公开(公告)号 CN203382846U 公开(公告)日 2014-01-08
申请公布号 CN203382846U 申请公布日 2014-01-08
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 水川;许柏 申请(专利权)人 安徽省徽商金属股份有限公司
代理机构 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 代理人 安徽大晟新能源设备科技有限公司
地址 237000 安徽省六安市霍邱县姚李镇街道
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构,包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板,所述石墨平台底部设有下发热体,所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接,可随升降立柱一起上下移动。本实用新型结构合理,形成了一个动态六面热场,六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体,三组发热体均可独立控制,整个热场横向温度梯度小,熔化硅料时间短,提高单晶率,缩短工艺周期,提高了设备的生产效率。