准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构
基本信息
申请号 | CN201320463213.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203382846U | 公开(公告)日 | 2014-01-08 |
申请公布号 | CN203382846U | 申请公布日 | 2014-01-08 |
分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 水川;许柏 | 申请(专利权)人 | 安徽省徽商金属股份有限公司 |
代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 安徽大晟新能源设备科技有限公司 |
地址 | 237000 安徽省六安市霍邱县姚李镇街道 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构,包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板,所述石墨平台底部设有下发热体,所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接,可随升降立柱一起上下移动。本实用新型结构合理,形成了一个动态六面热场,六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体,三组发热体均可独立控制,整个热场横向温度梯度小,熔化硅料时间短,提高单晶率,缩短工艺周期,提高了设备的生产效率。 |
