准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构
基本信息
申请号 | CN201320463146.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203382845U | 公开(公告)日 | 2014-01-08 |
申请公布号 | CN203382845U | 申请公布日 | 2014-01-08 |
分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 水川;许柏 | 申请(专利权)人 | 安徽省徽商金属股份有限公司 |
代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 王琪 |
地址 | 237000 安徽省六安市霍邱县姚李镇街道 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构,包括炉壳、移动立柱、支撑座,所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖,所述炉壳内流通有冷却水。本实用新型结构合理,使坩埚平台升降装置的移动立柱在运动中能保持炉内的密封,不会有空气进入设备内部,满足其生产工艺要求,解决了在生产中铸锭炉内部保持真空的需求。 |
