一种曼尼希碱、曼尼希碱季铵盐及其制备方法和应用

基本信息

申请号 CN202110535455.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113214309A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113214309A 申请公布日 2021-08-06
分类号 C07F7/18;C09K8/54;C09K8/74;D06M13/513 分类 有机化学〔2〕;
发明人 田磊;张必宏 申请(专利权)人 佛山市天宝利硅工程科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 陈嘉雯
地址 528137 广东省佛山市三水区乐平镇乐强路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请属于缓蚀剂的技术领域,尤其涉及一种曼尼希碱、曼尼希碱季铵盐及其制备方法和应用。本申请第一方面提供了一种曼尼希碱,其具有式Ⅰ所示结构;式Ⅰ;其中,所述R为‑CH3、‑C2H5、‑C3H8或‑Ph;所述R1为‑CH3或C2H5;所述R2为‑OCH3或‑CH3。本申请第二方面提供了所述曼尼希碱的制备方法,包括:以氯化氢为催化剂,将氨基硅烷,醛类化合物,无水极性溶剂和含活泼氢化合物混合反应,然后除去所述无水极性溶剂,制得具有式Ⅰ所示结构的曼尼希碱。本申请提供了一种曼尼希碱、曼尼希碱季铵盐及其制备方法和应用,能有效解决现有曼尼希碱缓蚀剂普遍存在吸附能力弱的技术问题。