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一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置

基本信息

申请号 CN202123006498.7 申请日 -
公开（公告）号 CN216613725U 公开（公告）日 2022-05-27
申请公布号 CN216613725U 申请公布日 2022-05-27
分类号 B66C1/22（2006.01）I 分类 卷扬；提升；牵引;
发明人 唐智勇 申请（专利权）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元区天易科技城A5栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体制造技术领域，且公开了一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置，包括底板，所述底板的表面开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，中间所述第一滑块的内部螺纹连接有螺杆，且螺杆的两端均通过轴承与底板的内壁转动连接，所述第一滑块的表面栓接有夹紧板，所述底板的底部设置有减震机构，所述底板的两侧均栓接有固定板，所述固定板的顶部栓接有固定筒，所述固定筒的内壁开设有第二滑槽；本实用新型通过转动螺杆带动第一滑块沿着第一滑槽移动使夹紧板相对移动的方式，能够达到对靶材进行固定的目的，提高了装置的安全性和稳定性，避免了靶材掉落或者晃动造成不良后果的问题。