一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺
基本信息
申请号 | CN202110243038.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112897990B | 公开(公告)日 | 2022-05-10 |
申请公布号 | CN112897990B | 申请公布日 | 2022-05-10 |
分类号 | C04B35/01(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I | 分类 | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
发明人 | 唐智勇 | 申请(专利权)人 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
代理机构 | 长沙鑫泽信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 412000湖南省株洲市天元区天易科技城自主创业园一期A5栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺,属于ITO靶材加工技术领域,该离心喷雾造粒工艺包括以下步骤:S1、称取In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末,加入去离子水和分散剂,搅拌均匀,得到浆料;S2、将浆料通过砂磨机球磨,然后加入粘结剂和消泡剂,混合均匀后,得到待造粒浆液;S3、通过风机抽取外界空气,以使空气依次经过滤器、加热器和集气管后通过造粒用的罐体内的布气管排入罐体,直至罐体内布满温度为130‑240℃的热气;将待造粒浆液通过进料管输送,以使待造粒浆液通过雾化器雾化后喷入罐体,从而得到所需造粒粉。本发明解决了ITO靶材喷雾干燥过程中,雾状原料干燥速率较慢的问题。 |
